X射線(xiàn)是高速運動(dòng)的電子在與物質(zhì)相互作用中產(chǎn)生的。在X射線(xiàn)管中，從陰極發(fā)射的電子，經(jīng)陰極、陽(yáng)極間的電場(chǎng)加速后，轟擊X射線(xiàn)管靶(Target)，將其動(dòng)能傳遞給靶上的原子。其中約有1%左右的能量轉化為X射線(xiàn)，并從X射線(xiàn)照射窗(Output Window)中射出。在Thermo微聚焦X射線(xiàn)源中，陰極發(fā)射的電子會(huì )被聚焦到靶上的一個(gè)點(diǎn)，稱(chēng)為X射線(xiàn)焦點(diǎn)(X-ray Focal Spot) ;微聚焦X射線(xiàn)源所發(fā)出的X射線(xiàn)均從X射線(xiàn)焦點(diǎn)以一個(gè)特定的發(fā)射角(Beam Angle) 射出，一般作為X-射線(xiàn)光源應用于工業(yè)或科研無(wú)損檢測/成像之中。

  為了給電子加速到足夠轟擊產(chǎn)生X射線(xiàn)的能量，X射線(xiàn)管中陰陽(yáng)極之間所加的管電壓一般高達幾十KV到幾百KV;所以除了X射線(xiàn)管之外，Thermo微聚焦X射線(xiàn)源還需要配套的高壓電源以及控制器單元。為了避免高壓線(xiàn)接口插拔所導致的高壓放電故障(這在工業(yè)無(wú)損檢測應用中尤其關(guān)鍵)，市場(chǎng)上主流的微聚焦X射線(xiàn)源均采用一體化設計——不僅能夠增加穩定性，降低返修率;而且可以將微聚焦X射線(xiàn)源做到很小的體積，方便操作和安裝。

  在無(wú)損檢測中，從Thermo微聚焦X射線(xiàn)源的焦點(diǎn)射出的X射線(xiàn)通過(guò)樣品，之后由X射線(xiàn)相機等探測器進(jìn)行成像。由于X射線(xiàn)對于樣品內不同結構、材料穿透能力的不同，其內部結構就可以被X射線(xiàn)相機所采集并在電腦上呈現。

  此成像系統還有一定的放大效果，放大倍數等于D2(焦點(diǎn)到相機的距離)除以D1(焦點(diǎn)到樣品的距離);需要較高放大倍數時(shí)，選擇較小的D1是一種很常見(jiàn)的方式，所以濱松彩頁(yè)中給出了每款微聚焦X射線(xiàn)源焦點(diǎn)到樣品距離的較小值，命名為FOD(Focus to Object Distance) 。